財聯(lián)社（上海，記者 邱豪）訊，繼設(shè)備、材料等上游環(huán)節(jié)之后，大基金首度將目光瞄向了半導(dǎo)體零部件賽道。3月30日晚間，萬業(yè)企業(yè)公告稱，參股子公司浙江鐠芯將迎來大基金二期等的增資。有分析人士認(rèn)為，受益于政府和行業(yè)的高度重視，作為卡脖子環(huán)節(jié)的半導(dǎo)體零部件，已初步形成國產(chǎn)化趨勢，迎來投資元年。

3月30日晚，萬業(yè)企業(yè)發(fā)布公告，大基金二期和裝備材料基金擬向萬業(yè)企業(yè)參股子公司浙江鐠芯增資3.9億元。增資完成后，萬業(yè)企業(yè)以29.63%的持股比例為浙江鐠芯第一大股東，大基金二期持有浙江鐠芯17.28%的股權(quán)，裝備材料基金將持有浙江鐠芯1.975%股權(quán)。

公開資料顯示，2020年12月，萬業(yè)企業(yè)聯(lián)合境內(nèi)外投資人以浙江鐠芯和鐠芯控股為持股主體，完成對Compart Systems的收購，間接成為其第一大股東，后者為氣體輸送系統(tǒng)的龍頭供應(yīng)商。為推進半導(dǎo)體核心零部件的國產(chǎn)化進程，公司于去年6月簽約海寧啟動Compart制造中心項目，總投資約30億元。

記者從萬業(yè)企業(yè)了解到，Compart目前在中國深圳和馬來西亞庫林各有一座工廠，具備高規(guī)格百級潔凈室，可提供具有高附加值的組件制造和一體化技術(shù)服務(wù)，已成為應(yīng)用材料、Ichor、UCT等國際設(shè)備龍頭的核心供應(yīng)商，并已打入國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司供應(yīng)鏈。

而大基金此次將投資范圍延伸至零部件領(lǐng)域，則是因為本土廠商相對薄弱和其獨特重要性。

“零部件相比于設(shè)備整機而言市場規(guī)模不大，但確實是典型的以小制大的卡脖子環(huán)節(jié)?！毙局\研究總監(jiān)王笑龍向記者表示，美國制裁中國晶圓制造企業(yè)，部分中國設(shè)備廠商也不得不屈從于美國禁令，其根源還是在關(guān)鍵零部件上依賴美國。

萬業(yè)企業(yè)方面告訴記者，當(dāng)下本土零部件企業(yè)的技術(shù)能力、工藝水平、產(chǎn)品精度和可靠性差距較大，整體國產(chǎn)化率僅為10%-30%，尤其在Compart相關(guān)的流量控制領(lǐng)域，之前的國產(chǎn)化率幾乎為零。

“大部分零部件中國廠商都掌握基礎(chǔ)技術(shù)，只是暫時達不到半導(dǎo)體的標(biāo)準(zhǔn)，在有較強實力的客戶的帶動下并非沒有機會。國產(chǎn)Quartz、RF generator、Shower head、Edge ring、MFC、Ceramic等零部件，都已在晶圓線上廣泛驗證甚至是批量出貨，未來將進一步站穩(wěn)市場，逐步擺脫對美依賴，只是時間各有長短而已?！蓖跣埛Q。

他認(rèn)為，要解決半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備零部件卡脖子問題，首先需要國內(nèi)晶圓廠和設(shè)備廠同時高度重視，協(xié)同本土零部件廠商聯(lián)合攻關(guān)。本土晶圓線要敢于給國產(chǎn)設(shè)備和零部件驗證機會，切實發(fā)揮大生產(chǎn)線組織協(xié)調(diào)的作用。設(shè)備原廠要發(fā)揮連接兩端的串聯(lián)作用，積極主動推進對國產(chǎn)零部件廠商的認(rèn)證并推薦給客戶。

與此同時，海外企業(yè)的資金和技術(shù)資源也不可忽視。王笑龍表示，即使是國際設(shè)備巨頭，為便捷服務(wù)大陸生產(chǎn)線客戶，也在推動部分零部件的國產(chǎn)化。而在疫情的影響下，國際設(shè)備巨頭構(gòu)建本土零部件供應(yīng)鏈，以保障大陸客戶所需的積極性也大幅提升。相關(guān)部門在繼續(xù)支持國際設(shè)備巨頭在華發(fā)展的同時，應(yīng)對其提出協(xié)助構(gòu)建國產(chǎn)零部件供應(yīng)鏈的要求或期望。

“目前，國內(nèi)已經(jīng)涌現(xiàn)出一批半導(dǎo)體零部件企業(yè)，如萬業(yè)企業(yè)通過參與收購Compart布局零部件業(yè)務(wù)，新萊應(yīng)材與應(yīng)用材料、Lam Research在真空系統(tǒng)領(lǐng)域長期合作，以及江豐電子、神工股份等?！敝秀y證券半導(dǎo)體首席分析師楊紹輝在相關(guān)研報中表示。他認(rèn)為，作為卡脖子的關(guān)鍵技術(shù)關(guān)節(jié)，半導(dǎo)體零部件已受到政府和行業(yè)內(nèi)的高度重視，而受益于零部件國產(chǎn)化率的提升及國內(nèi)外半導(dǎo)體設(shè)備的高成長，今年將成為半導(dǎo)體零部件的投資元年。