揚(yáng)州企業(yè)研發(fā)半導(dǎo)體制造設(shè)備取得新突破。近日，記者從揚(yáng)州思普爾科技有限公司獲悉，該公司已完成涂膠機(jī)、顯影機(jī)、等離子去膠機(jī)樣機(jī)的制造，正進(jìn)行工藝實(shí)測(cè)，預(yù)計(jì)6月正式量產(chǎn)?？偨?jīng)理張桂陽(yáng)介紹：“擴(kuò)散爐、清洗機(jī)的研發(fā)已接近尾聲，預(yù)計(jì)7月出樣機(jī)。”

突破“卡脖子”技術(shù)，這家企業(yè)研發(fā)出系列半導(dǎo)體制造設(shè)備

研發(fā)出半導(dǎo)體制造設(shè)備，是我市電子信息制造產(chǎn)業(yè)擴(kuò)鏈補(bǔ)鏈強(qiáng)鏈的最新突破。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不僅是電子信息制造產(chǎn)業(yè)的“皇冠”，也是工業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)和經(jīng)濟(jì)社會(huì)智能化發(fā)展的基石，分為集成電路、分立器件(特色工藝集成電路)、光電子器件和傳感器件等類別。近年來(lái)，隨著一批技改項(xiàng)目上馬和招商引資企業(yè)落戶，我市電子信息制造產(chǎn)業(yè)正在加快擴(kuò)鏈補(bǔ)鏈強(qiáng)鏈步伐。

制造設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化率最低的環(huán)節(jié)之一。思普爾科技能夠突破“卡脖子”技術(shù)，緣于在行業(yè)內(nèi)久久為功的深耕，以及與韓國(guó)一家技術(shù)團(tuán)隊(duì)的合作。

思普爾科技2011年成立，從事半導(dǎo)體制造設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與技術(shù)服務(wù)，核心成員曾在國(guó)內(nèi)知名科研院所和海外半導(dǎo)體機(jī)構(gòu)擔(dān)任研發(fā)高管，具有豐富的工廠化技術(shù)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)。近年來(lái)，隨著國(guó)家大力發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，思普爾科技迎來(lái)爆發(fā)式增長(zhǎng)，2018年銷售1500萬(wàn)元，去年銷售已過(guò)億元。

2019年11月，思普爾科技與韓國(guó)一家技術(shù)團(tuán)隊(duì)簽訂協(xié)議，立項(xiàng)研發(fā)芯片制造設(shè)備，計(jì)劃今年實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。“我們的產(chǎn)品可替代進(jìn)口設(shè)備，用于制造6英寸、8英寸和12英寸芯片。”張桂陽(yáng)介紹，“此前，我們和韓國(guó)技術(shù)團(tuán)隊(duì)各負(fù)責(zé)一部分，零部件在揚(yáng)州完成組裝。通過(guò)接觸后，雙方?jīng)Q定深度合作，在揚(yáng)州成立合資公司，韓國(guó)10名研發(fā)人員將于7月來(lái)?yè)P(yáng)工作。”

目前，思普爾科技正在加快擴(kuò)大產(chǎn)能。今年3月，思普爾科技與揚(yáng)州高新區(qū)簽約，分三期投資上馬半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)制造及6英寸芯片實(shí)驗(yàn)線項(xiàng)目：一期計(jì)劃今年10月建成并投入使用;二期將加強(qiáng)自主研發(fā)和技術(shù)引進(jìn)，制造注入機(jī)、光刻機(jī)、金屬濺射臺(tái)、深槽刻蝕機(jī)，預(yù)計(jì)2023年12月底前實(shí)施到位;三期將建設(shè)特殊工藝的芯片生產(chǎn)線及成品封裝生產(chǎn)線。

思普爾科技的發(fā)展脈動(dòng)，是我市半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不斷補(bǔ)鏈的生動(dòng)掠影。今年4月，在江都經(jīng)開(kāi)區(qū)，等離子集成電路清洗設(shè)備項(xiàng)目正式投產(chǎn)，填補(bǔ)了我市半導(dǎo)體清洗(凈化)設(shè)備制造的空白;去年下半年，在維揚(yáng)經(jīng)開(kāi)區(qū)，揚(yáng)州摩笛爾電子材料有限公司完成三氟碘甲烷氣體的中試，填補(bǔ)了我市半導(dǎo)體制造基礎(chǔ)性材料——高純度電子氣體制造的空白……

開(kāi)工項(xiàng)目數(shù)占比近1/3，電子信息制造產(chǎn)業(yè)加快擴(kuò)鏈補(bǔ)鏈強(qiáng)鏈

經(jīng)過(guò)多年發(fā)展，我市企業(yè)在分立器件、無(wú)線射頻標(biāo)簽、傳感器件、新型顯示等細(xì)分領(lǐng)域形成了一定的比較優(yōu)勢(shì)，涌現(xiàn)出一批頭部企業(yè)：揚(yáng)杰電子連續(xù)兩年在國(guó)內(nèi)功率器件(屬半導(dǎo)體分立器件類)制造領(lǐng)域排名前兩位，川奇光電引領(lǐng)全球電子紙技術(shù)，無(wú)線射頻標(biāo)簽?zāi)戤a(chǎn)量持續(xù)保持全球第二、亞洲第一，奧力威的車用油量傳感器市場(chǎng)規(guī)模國(guó)內(nèi)第一……

在分立器件制造企業(yè)中，揚(yáng)州既有名宿也有新秀。晶新微電子和四菱電子的發(fā)展最早可追溯到上世紀(jì)60年代;揚(yáng)杰電子于2006年成立，近年來(lái)依托資本市場(chǎng)，加快項(xiàng)目布局，已成長(zhǎng)為行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)。去年上半年，揚(yáng)杰電子開(kāi)工建設(shè)8英寸晶圓和集成電路封測(cè)項(xiàng)目，開(kāi)始向高端功率器件領(lǐng)域進(jìn)軍。

揚(yáng)杰電子新上技改項(xiàng)目，是全市電子信息制造產(chǎn)業(yè)規(guī)模快速擴(kuò)張的生動(dòng)案例。近年來(lái)，隨著市場(chǎng)需求不斷擴(kuò)大，我市電子信息制造項(xiàng)目開(kāi)工數(shù)量明顯增加，產(chǎn)業(yè)規(guī)模正在不斷擴(kuò)大。

據(jù)統(tǒng)計(jì)，2019年至今年一季度，全市共有22個(gè)電子信息制造項(xiàng)目開(kāi)工，其中2019年、2020年分別開(kāi)工7個(gè)項(xiàng)目，今年一季度開(kāi)工8個(gè)項(xiàng)目。一季度投資額最大的是磷酸鐵鋰離子儲(chǔ)能電池基地三期，由江蘇中興派能電池有限公司總投資15億元建設(shè)。

此外，在光伏產(chǎn)業(yè)中，一批重大項(xiàng)目相繼開(kāi)工建設(shè)也在加速產(chǎn)業(yè)集聚。據(jù)統(tǒng)計(jì)，2019年至今年一季度，全市共有12個(gè)重大項(xiàng)目開(kāi)工。其中今年一季度有3個(gè)項(xiàng)目開(kāi)工，投資額最大的是2.5GW光伏組件生產(chǎn)線技術(shù)改造項(xiàng)目，由中環(huán)艾能(高郵)能源科技有限公司投資20億元建設(shè)。

據(jù)統(tǒng)計(jì)，2019年至今年一季度，在新開(kāi)工制造業(yè)重大項(xiàng)目(含技改)中，電子信息制造業(yè)項(xiàng)目占比接近三分之一。

搶抓產(chǎn)業(yè)發(fā)展風(fēng)口，打造特色工藝集成電路“芯”高地

據(jù)了解，我市電子信息制造產(chǎn)業(yè)擁有規(guī)上企業(yè)超過(guò)300家，2020年主營(yíng)業(yè)務(wù)收入接近900億元。

梳理產(chǎn)業(yè)布局，各個(gè)板塊定位鮮明：邗江區(qū)揚(yáng)州微電子產(chǎn)業(yè)園、市開(kāi)發(fā)區(qū)新光源產(chǎn)業(yè)園和光伏產(chǎn)業(yè)園、高郵“中國(guó)路燈制造基地”和光儲(chǔ)充產(chǎn)業(yè)園、儀征市中興派能儲(chǔ)能電池產(chǎn)業(yè)園、寶應(yīng)縣智能終端產(chǎn)業(yè)園、江都區(qū)創(chuàng)維智能顯示產(chǎn)業(yè)園……一批新老專業(yè)園區(qū)相互補(bǔ)充，正在形成相對(duì)健全的產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

一個(gè)個(gè)正在進(jìn)行的技術(shù)攻關(guān)項(xiàng)目，不但彰顯著企業(yè)科技創(chuàng)新的活力，更為產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展蓄勢(shì)賦能：圍繞5G應(yīng)用場(chǎng)景，揚(yáng)企正在研發(fā)5G基站高穩(wěn)定電容器用電極箔、5G無(wú)源器件;圍繞精準(zhǔn)3D人臉識(shí)別，揚(yáng)企正在研發(fā)光引擎用核心組件;圍繞多個(gè)消費(fèi)應(yīng)用場(chǎng)景，揚(yáng)企正在研發(fā)超小尺寸芯片、適用于多介質(zhì)表面貼附的無(wú)線射頻識(shí)別標(biāo)簽……

當(dāng)前，電子信息制造產(chǎn)業(yè)的市場(chǎng)需求不斷擴(kuò)大，第四次工業(yè)革命到來(lái)，新基建、“碳達(dá)峰、碳中和”等國(guó)家戰(zhàn)略加快部署，電子信息制造產(chǎn)業(yè)迎來(lái)加速發(fā)展的機(jī)遇期。電子信息制造產(chǎn)業(yè)技術(shù)更新快、資金需求大、人才要求高、投資回報(bào)周期長(zhǎng)，下一步我市將采取哪些措施，精準(zhǔn)助力產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展?

“在揚(yáng)州微電子產(chǎn)業(yè)園，引導(dǎo)企業(yè)依托半導(dǎo)體功率器件中試平臺(tái)，主攻中端功率器件和高端分立器件，打造特色工藝集成電路‘芯’高地。”市工信局有關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，同時(shí)，加快完善儲(chǔ)能電池產(chǎn)業(yè)生態(tài)。結(jié)合我市鋰離子電池產(chǎn)業(yè)儲(chǔ)能產(chǎn)品強(qiáng)于動(dòng)力產(chǎn)品的現(xiàn)狀，積極引進(jìn)科技含量更高、技術(shù)更先進(jìn)的龍頭企業(yè)的項(xiàng)目。積極向上爭(zhēng)取國(guó)網(wǎng)儲(chǔ)能試點(diǎn)示范應(yīng)用項(xiàng)目在我市落地，為我市企業(yè)產(chǎn)品開(kāi)拓市場(chǎng)創(chuàng)造條件。

“我市將引導(dǎo)企業(yè)聚焦新技術(shù)新應(yīng)用，持續(xù)擴(kuò)大光伏產(chǎn)業(yè)規(guī)模。”該負(fù)責(zé)人介紹，以高郵市光儲(chǔ)充產(chǎn)業(yè)園、市開(kāi)發(fā)區(qū)揚(yáng)州光伏新能源特色產(chǎn)業(yè)基地為載體，通過(guò)招引企業(yè)落戶和上馬技改項(xiàng)目，加快上下游配套項(xiàng)目集聚。